Описание?
Ред. совет: К. В. Фролов (пред.) и др.; Ю. В. Панфилов, Л. К. Ковалев, В. А. Блохин и др.; Под общ. ред. Ю. В. Панфилова. — Москва: Машиностроение, 2000. — 744 с. — (OCR). Показаны уникальные возможности воздействия на конструкционные материалы высокоэнергетических электронных и ионных пучков, низкотемпературной газоразрядной плазмы и точно дозированных молекулярных потоков. Обобщен отечественный и мировой опыт создания оборудования для производства изделий электронной техники и изложены принципы построения систем автоматического управления. Описаны методы и средства получения и поддержания сверхчистых технологических сред, атмосферы чистых производственных помещений. Систематизированы уникальные технологические процессы изготовления интегральных микросхем и печатных плат, электровакуумных и других приборов. Даны основные понятия, этапы и отражены тенденции развития мехатронных систем.
- Год?
- —
- Город издания?
- —
- Серия?
- —
- Страниц?
- —
- Издатель?
- —
- Категория?
- Домен знаний научных данных
- Язык?
- Тест
- Страна?
- —
- Уровень в иерархии?
- 1
- Религиозная?
- нет
- На сайте?
- да
- Доверие?
- 0
- Идентификатор сайта?
- —
- Обновлено?
- 5 июн. 2026 г., 17:18